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经济型气体质量流量控制器 可选配一体式显示屏,用于测量洁净气体
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经济型气体质量流量控制器 可选配一体式显示屏,用于测量洁净气体

FMA5400/5500系列电子气体质量流量控制器可控制流速在10 SCCM到1000 SLM范围内的多种气体的流量。
没有此类产品
产品描述
·NIST可溯源校准
·无需温度或压力补偿,即可读取和控制气体质量流量
·可选经济实惠的铝质结构和耐腐蚀的316不锈钢结构
·LCD显示屏角度可调,方便读数
 
 
产品描述:
 
重要提示:
FMA5400/5500 系列电子气体质量流量控制器已经停产,同类相关产品请查看 FMA5400A/5500A系列产品,或者拨打800销售热线咨询工程师!
 
FMA5400/5500系列电子气体质量流量控制器可控制流速在10 SCCM到1000 SLM范围内的多种气体的流量。FMA5400/5500利用通过加热管进行的热传递直接测量气体质量流量,并且无需对(规定限值以内)的气体温度或压力变动进行补偿。该产品提供用于测量普通气体流量的经济型铝质/铜质结构,以及用于有更高耐腐蚀要求应用场合的316不锈钢结构。不带一体式显示屏的FMA5400系列控制器具有0 ~ 5 Vdc和4 ~ 20 mA模拟输出,以便进行远程监测;FMA5500系列控制器兼具一体式3½位数字显示屏和模拟输出。显示屏可倾斜90度,查看读数时很方便,显示屏还经过校准,可直接显示以SCCM或SLM为单位的氮气流速,可以通过专门订购来获得其它气体校准。
 
FMA5400/5500质量流量控制器带有内置式电磁阀,无论入口或出口压力如何变化,都能保持稳定的流速。设定值可通过电位器(通过壳体上的窗口可调整该电位器)本地控制,或者可以通过0 ~ 5 Vdc或4 ~ 20 mA(现场可选)模拟信号远程控制。
 
FMA5400/5500系列控制器需要使用12 ~ 15 Vdc电源(最大电流800 mA),FMA545PW壁装插接式插座电源可满足其要求,24 Vdc电源输入(最大电流650 mA)可作为选件提供。电子装置具备反向极性保护,并配有自恢复保险丝。型号FMA545C (单独提供)提供了一个带2.4 m (8')屏蔽电缆的插接式15针"D"连接器,可用于模拟输出信号和电源输入连接。FMA5500系列控制器的LCD通过模块化插头与里面的电子设备相连。通过购买FMA18RC远程电缆组件可以远程安装LCD,但是,您必须自行制作面板安装组件以便进行LCD的面板安装。
 
 
规格:
 
精度: 满量程的±1.5%,包括在15 ~ 25°C (59 ~ 77°F)以及0.7 ~ 4.2 kg/cm2 (10 ~ 60 psia)范围内的线性度;对于流量 =100 SLM的控制器,在0 ~ 20%量程范围内精度为满量程的±3%
重复性: 满量程的±0.5%
温度系数: 满量程的0.15%/°C
压力系数: 每psi (0.07 bar)为满量程的0.01%
最大压降: 50 psid
响应时间:在满量程的25 ~ 100%范围大约5秒达到设定流速的±2%内
最大气体压力: 35 kg/cm2表压(500 psig); 1.76 kg/cm2 (25 psig)最适宜
气体和环境温度: 5 ~ 50°C (41 ~ 122°F)
泄漏完整性: 对于外界环境,最大泄漏为1 x 10-7 cc/sec氦气
接液材质:
铝质型号: 阳极氧化铝、316不锈钢、铜和氟橡胶O形圈
不锈钢型号: 316不锈钢和氟橡胶O形圈
输出信号:
线性0 ~ 5 Vdc: 最小负载1000 V
4 ~ 20 mA: 环路电阻为50 ~ 500 V,最大噪声±20 mV
传感器电源: 12 Vdc @ 800 mA
(标配); 24 Vdc @ 650 mA(可选)
量程比: 50:1
运输重量: 1.8 kg (4 lb)
顺从标准: EN55011 1类,B类;EN50082-1
 
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